Flip Top CCS MOVPE System für 6 x 2" Wafer

Einen zentralen Forschungsschwerpunkt im Bereich der Materialien- und Prozesstechnologie stellt die Herstellung memristiver Bauelemente aus neuartigen 2D-Materialien dar. Die für das Vorhaben in besonderem Maße geeignete Prozesstechnologie ist die Metallorganische Gasphasendeposition (MOCVD), ein Verfahren, mit dem kommerziell Halbleiterheterostrukturen für Leuchtdioden gefertigt werden. Einzelschichten aus Graphen, hBN, und einzelne TMDC-Materialien können damit bereits in guter Qualität auf passenden Substraten hergestellt werden für die Herstellung der Graphen/TMDC Heterolagen kommt nur eine dedizierte Anlage zur Metallorganischen Gasphasenabscheidung (MOCVD bzw. MOVPE: metal organic vapor phase epitaxy) in Frage.