FIB-SEM-System

Das FIB-SEM-System vereint eine FIB (focused ion beam)-Einheit und eine SEM (scanning electron microscope)-Einheit in einem Gerät. Die FIB-Einheit wird sowohl zum gezielten Implantieren mit isotopenreinen Ionenarten bzw. Beschießen eines (Diamant-) Substrats mit Ionen als auch zur Erzeugung von kleinen Strukturen mit einer Größe im Mikro- bzw. Nanometerbereich an der Oberfläche des Substrats verwendet. Durch die SEM-Einheit können kleinste Oberflächenstrukturen in der Größenordnung von wenigen Nanometern abgebildet und dadurch charakterisiert werden. Erweitert wird der Funktionsumfang des Geräts durch ein Gas-Injektions-System (GIS) und einen energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDS)-Detektor. Das Gerät wird von einer wechselnden Nutzer-gruppe mit unterschiedlichem Erfahrungslevel genutzt. Beschaffungsgegenstand • Gerät gemäß Spezifikation inkl. Lieferung, Inbetriebnahme und Schulung • Service und Wartung gemäß Spezifikation Weitere Details zum Erbringen der Leistung sind den Vergabeunterlagen Anlage 03 Leistungsbeschreibung zu entnehmen.