Erneuerung Entwickler NMD-W und NMD-3 -Versorgungskabinette

Allgemeine Vorbemerkungen: Die IHP-GmbH als anerkanntes Forschungsinstitut im Verbund der Leibniz-Gesellschaft betreibt seit 1999 am Standort Frankfurt(Oder) einen Reinraum mit einer Grundfläche von 1 000 m2 zur industrienahen Präparation von Siliziumwafern. Nach durchgängigem Einsatz wurde im Jahre 2017 damit begonnen, die vorhandenen Chemikalien-Versorgungskabinette zu erneuern. Für 2021 ist der Ersatz der Kabinette Entwickler 1 (NMD-W 2,38 %) und Entwickler 2 (NMD-3 2,38 %) vorgesehen. Der Austausch kann nur im festgelegten Wartungszeitraum des Reinraumbetriebes, KW 26-KW30/2021 erfolgen. Die komplette Planung, Fertigung, Werksabnahme und termingerechte Anlieferung seitens des Anbieters ist zu gewährleisten, um Versorgungsausfälle auszuschließen. Aufgrund der beengten Platzverhältnisse und der Anordnung mehrerer Chemiekabinette im Verbund, sind die äußeren Maße entsprechend der Bestandsanlage exakt einzuhalten. Bedienfelder sowie andere funktionale Einheiten der Neuanlagen müssen der Anordnung der jeweiligen Bestandsanlage entsprechen. Eine Vorort-Besichtigung des Bieters ist Voraussetzung und Bedingung für die Berücksichtigung eines Angebots. (Anlage 1 zum LV/bestätigtes Besichtigungsformular).