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Zuschlag erteilt Offenes Verfahren (EU-weit) · veröffentlicht am 08.04.2022

Elektronenstrahl-Lithografieanlage

Auftraggeber: Universität Duisburg-Essen · Duisburg

Universität Duisburg-Essen hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Duisburg am 07.06.2022 vergeben, Zuschlag an Jeol (Germany) GmbH. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 1.585.000 €. Eingegangen: 2 Angebote.

Zuschlag an

Jeol (Germany) GmbH Freising

Summe
1.585.000 €
Angebote
2
Zuschlag
07.06.2022

Quelle: Bekanntmachung auf TED (© Europäische Union), veröffentlicht am 20.09.2022.

Angaben in Kürze

Aus den Feldern, ohne KI
Was
Labor- und Messtechnik: Elektronenstrahl-Lithografieanlage
Wo
Duisburg, Nordrhein-Westfalen
Wer kann anbieten
Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 20.09.2022, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden

Leistungsumfang

Beschreibung laut Bekanntmachung

Die Universität Duisburg-Essen erforscht im Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik in Duisburg Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Im ZHO wird zur Durchführung der Forschungsarbeiten eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO 14644-1) betrieben. Zur Untersuchung nanoskaliger Bauelemente wird eine höchstauflösende Elektronenstrahl-Lithografieanlage benötigt. Es soll eine Anlage beschafft werden, die den aktuellen Stand der Technik in Hinsicht auf maximale Auflösung und Positioniergenauigkeit darstellt. Die Anlage soll eine hohe Entwicklungsreife besitzen, die z.B. durch den Einsatz in Industrie und/oder Forschungsinstituten belegt werden kann. Ein hoher Automatisierungsgrad ist gefordert, um einen Mehrbenutzerbetrieb effektiv zu ermöglichen. Weitere Informationen entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen.

Erfüllungsort

Ort
nicht angegeben
Kreis
Duisburg
NUTS
DEA12

Verlauf

  1. 08.04.2022 Ausschreibung veröffentlicht
  2. 20.09.2022 Ergebnis veröffentlicht

Häufige Fragen

Wer hat den Auftrag bekommen?

Den Zuschlag hat Jeol (Germany) GmbH erhalten, Summe 1.585.000 €.

Quellen Bekanntmachung auf TED ↗ Daten: TED – Tenders Electronic Daily, © Europäische Union, Weiterverwendung mit Quellenangabe. Namen und persönliche Kontaktdaten von Ansprechpersonen entfernen wir automatisch. Ist uns etwas entgangen? Fehler melden

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