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Zuschlag erteilt Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit) · veröffentlicht am 24.08.2018

Electron-Beam Writer

Auftraggeber: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe · München

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.… hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Freiburg am 11.12.2018 vergeben, Zuschlag an Jeol (Germany) GmbH. Eingegangen: 2 Angebote.

Zuschlag an

Jeol (Germany) GmbH Freising

Summe
nicht plausibel
Angebote
2
Zuschlag
11.12.2018

Quelle: Bekanntmachung auf TED (© Europäische Union), veröffentlicht am 14.12.2018.

Angaben in Kürze

Aus den Feldern, ohne KI
Was
Maschinen und Geräte: Electron-Beam Writer
Wo
Freiburg, Freiburg im Breisgau, Baden-Württemberg
Wer kann anbieten
Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
Laufzeit
12 Monate

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 14.12.2018, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden

Leistungsumfang

Beschreibung laut Bekanntmachung

Die Ausschreibung betrifft eine 100 kV Elektronenstrahl Direktschreib-Anlage (E-Beam) mit gaußförmigem Strahlprofil. Das System soll für Lithografie auf Substraten bis zu einer Größe von 150 mm eingesetzt werden. Wichtige Spezifikationen sind eine Justiergenauigkeit von 11 nm und ein Schreibfeld von 1x 1 mm2. Die Anlage soll ein Ladesystem für mindestens 10 Substrate und die Software einen Queue-Manager für die zugehörigen Schreib-Jobs beinhalten.

Erfüllungsort

Ort
79108 Freiburg
NUTS
DE131

Verlauf

  1. 24.08.2018 Ausschreibung veröffentlicht
  2. 14.12.2018 Ergebnis veröffentlicht

Häufige Fragen

Wer hat den Auftrag bekommen?

Den Zuschlag hat Jeol (Germany) GmbH erhalten.

Quellen Bekanntmachung auf TED ↗ Daten: TED – Tenders Electronic Daily, © Europäische Union, Weiterverwendung mit Quellenangabe. Namen und persönliche Kontaktdaten von Ansprechpersonen entfernen wir automatisch. Ist uns etwas entgangen? Fehler melden

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