EE-AID – PVD-Anlage plus Umbau (HI-ERN)

Das Helmholtz-Institut Erlangen-Nürnberg für Erneuerbare Energien (HI-ERN) erforscht und entwickelt material- und prozessbasierte Lösungen für eine klimaneutrale, nachhaltige und kostengünstige Nutzbarmachung erneuerbarer Energien. Das Institut beschäftigt sich mit der strukturellen und funktionellen Charakterisierung, Modellierung und Herstellung von Materialien, die für die Wasserstoff- und Solartechnik relevant sind. Das gemeinsame Ziel ist das Verständnis der Struktur-Leistungs-Prozessbeziehung auf der Mesoskala. Das HI-ERN ist Teil des Forschungszentrums Jülich und wird in enger Kooperation mit der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU) und dem Helmholtz-Zentrum Berlin (HZB) betrieben. Beschafft werden soll eine PVD-Anlage plus Umbau, bestehend aus Part A) einer Einleitungskammer (Kammer 1), einer Prozesskammer (Kammer 2), einer Plasmavorbehandlungskammer und einer zusätzlichen Kammer (Kammer 3, optional) für die Nachbehandlung abgeschiedener Filme bei einer gewünschten Temperatur sowie Part B) einem Transportgefäß, um die Proben im Vakuum zwischen den verschiedenen Laboren transferieren zu können.