Clustertool mit 2 ALD Reaktoren, Handlingsystem für 200 mm Wafer

1 Vektorieller Netzwerkanalysator mit folgenden Eigenschaften: — Frequenzbereich: durchgehender Sweep von fmin <= 1 kHz bis fmax >= 120 GHz, funktional bis 130 GHz, — 4 Ports, — 1 mm Verbindungen an den Erweiterungsmodulen, — Eingebaute Force/Sense Bias-Tees (=>50 V, >=0,5 A) an allen Ports + alle notwendigen Verbindungskabel für den Force/Sense Betrieb, — Ausgangsleistungsbereich: <-50 dBm bis >0 dBm im gesamten Frequenzbereich, — garantierter Rauschpegel: <=-105 dBm von 1 GHz bis 95 GHz an allen Ports, — Amplitudenstabilität: besser +/-0,015 dB nach 24 Stunden über den gesamten Frequenzbereich, — Phasenstabilität: besser +/-0.15 Grad nach 24 Stunden über den gesamten Frequenzbereich, — Empfängerabschwächer an allen Ports des Grundgerätes (0dB to >= 30dB), — eingebauter Rauschempfänger bis mindestens 50 GHz, — Volle Kompatibilität mit der Software IC-CAP Version 2018 oder neuer.