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Abgelaufen Offenes Verfahren (EU-weit) · veröffentlicht am 09.07.2021

Clustertool für Strukturierung von III/V Halbleiter

Auftraggeber: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Frankfurt (Oder)

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik in Frankfurt (Oder) ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 06.08.2021. Bisher kein Ergebnis gefunden.

Die Angebotsfrist endete am 06.08.2021, 12:00 Uhr. Frist abgelaufen

Wir haben bisher kein Ergebnis zu diesem Verfahren gefunden. Auskunft gibt die Vergabestelle.

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Wer folgt, bekommt morgens eine E-Mail, sobald ein Ergebnis oder eine Änderung veröffentlicht ist.

Angaben in Kürze

Aus den Feldern, ohne KI
Was
Labor- und Messtechnik: Clustertool für Strukturierung von III/V Halbleiter
Wo
Frankfurt (Oder), Brandenburg
Bis wann
Angebotsfrist 06.08.2021, 12:00 Uhr
Wer kann anbieten
Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
Laufzeit
1 Monat

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 09.07.2021, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden

Leistungsumfang

Beschreibung laut Bekanntmachung

200 mm Wafer-8 port Mainframe mit integriertem cooldown Modul ausgestattet mit: a) 1 x Trockenätzkammer für Strukturierung von III/V-Halbleitermaterialien (siehe Punkt 3), b) 1 x Trockenätzkammer für Oxid / Nitrid (siehe Punkt 4), c) 1 x Trockenätzkammer für Metallschichten (Hauptanwendung Ti/TiN/Al; sihe Punkkt 5), d) 1 x Stripkammer für Entfernung von Photolack (siehe Punkt 6).

Erfüllungsort

Ort
nicht angegeben
Bundesland
Brandenburg
NUTS
DE403

Verlauf

  1. 09.07.2021 Ausschreibung veröffentlicht
Quellen Bekanntmachung auf TED ↗ Vergabeunterlagen auf vergabemarktplatz.brandenburg.de ↗ Daten: TED – Tenders Electronic Daily, © Europäische Union, Weiterverwendung mit Quellenangabe. Namen und persönliche Kontaktdaten von Ansprechpersonen entfernen wir automatisch. Ist uns etwas entgangen? Fehler melden

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