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Zuschlag erteilt Nur 1 Angebot Offenes Verfahren (EU-weit) · veröffentlicht am 22.11.2019

Cluster tool mit PECVD- und Trockenätzkammer

Auftraggeber: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Frankfurt (Oder)

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Frankfurt (Oder) am 16.02.2020 vergeben, Zuschlag an SPTS Technologies Limited. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 2.727.578 €. Eingegangen: 1 Angebot.

Zuschlag an

SPTS Technologies Limited Wales

Summe
2.727.578 €
Angebote
1 Nur 1 Angebot
Zuschlag
16.02.2020

Quelle: Bekanntmachung auf TED (© Europäische Union), veröffentlicht am 15.05.2020.

Angaben in Kürze

Aus den Feldern, ohne KI
Was
Labor- und Messtechnik: Cluster tool mit PECVD- und Trockenätzkammer
Wo
Frankfurt (Oder), Brandenburg
Wer kann anbieten
Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
Laufzeit
1 Monat

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 15.05.2020, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden

Leistungsumfang

Beschreibung laut Bekanntmachung

1 cluster tool bestehend aus Transportmodul mit der Möglichkeit, insgesamt 6 Prozesskammern zu installieren für 200 mm wafer; ausgestattet mit einer Kammer für Tiefe Si-Ätzen (siehe Pkt. 2) und einer PECVD Kammer (siehe Pkt. 3); Möglichkeit nachträglich 4 weitere Kammern zu installieren.

Erfüllungsort

Ort
nicht angegeben
Bundesland
Brandenburg
NUTS
DE403

Verlauf

  1. 22.11.2019 Ausschreibung veröffentlicht
  2. 15.05.2020 Ergebnis veröffentlicht

Häufige Fragen

Wer hat den Auftrag bekommen?

Den Zuschlag hat SPTS Technologies Limited erhalten, Summe 2.727.578 €.

Quellen Bekanntmachung auf TED ↗ Daten: TED – Tenders Electronic Daily, © Europäische Union, Weiterverwendung mit Quellenangabe. Namen und persönliche Kontaktdaten von Ansprechpersonen entfernen wir automatisch. Ist uns etwas entgangen? Fehler melden

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