Chemischer Gasphasenabscheidungsreaktor mit Atomlagenabschscheidungs- Direkteinspritzung und RTP-Option.

Mit dem hier zu beschaffenden Clustertool sollen (oxidische) Nanowires/Nanorods gewachsen und durch Beschichtung/Ummantelung funktionalisiert werden. Dabei stehen zwei Ziele im Vordergrund. 1. Funktionalisierte Nanostabarrays sollen als (thermionische) Feldemitter in der Proteinmassenspektrometrie eingesetzt werden. 2. Arrays aus Nanostabsolarzellen sollen hinsichtlich ihres Einsatzes als künstliche Stimulatoren für Nervenzellen untersucht werden. dabei stehen Anwendungen als Retina-Implantate im Fokus der Forschung. Weitere mögliche Anwendungen sind die Herstellung von offenen Nanoröhrchenarrays, die beispielsweise genutzt werden könnten um Zellen mit Flüssigkeiten/Gasen zu versorgen und ihr biologisches/mechanisches/elektrisches Antwortverhalten zu studieren.