Beschaffung eines Rasterelektronenmikroskops mit Feldemissionskathode, energie-dispersiver Röntgenspektroskopie und Elektronenstrahllithografie

Beschaffung eines Rasterelektronenmikroskops mit Feldemissionskathode, energie-dispersiver Röntgenspektroskopie und Elektronenstrahllithografie: Das System wird ausschließlich für Forschungsarbeiten zur technischen Entwicklung von z. B. i) skalenüberschreitenden Prozessen (Fertigungstechnologieentwicklung) und Bauteilen (makroskopische Bauteile mit nanoskaligen Merkmalen); ii) subtraktiv-generativen Fertigungsverfahren und Komponenten der Feinwerk- und Glastechnik (z. B. Thrombektomie-Devices oder Gefäßstützstrukturen oder Mikrooptikenarrays); iii) Oberflächenfunktionalisierungen durch Laserstrahlung zur gezielten Einstellung tribologischer Eigenschaften des Zellwachstums an Implantaten oder iv) Mikro-THz-Optiken eingesetzt.