Beschaffung eines Beschichtungszentrums bestehend aus einem Verbund von drei (U)HV-transferkompatiblen PVD-Abscheideanlagen mit Zubehör

Beschaffung eines Beschichtungszentrums für den Reinraum der Naturwissenschaftlich-Technischen Fakultät der Universität Siegen bestehend aus drei komplementär ausgestatteten und gekoppelten Hochvakuumanlagen zur physikalischen Gasphasenabscheidung (reaktives Sputtern, Elektronenstrahl- und thermisches Verdampfen) im Rahmen eines Paketes von drei DFG-geförderten Großgeräteanträgen/ einer DFG-Großgeräteförderung. Das Beschichtungszentrum erlaubt durch ein hochspezialisiertes (U)HV-kompatible Transferschleusensystem, einem dedizierten Kryo-(U)HV-Transfershuttle sowie einer Glovebox in Sonderbauform die Herstellung und Handhabung hochreaktiver und empfindlicher Proben und Bauelemente. Die Vernetzung der Steuerung sowie die Remote-Servicefähigkeit erlauben die Prozessoptimierung, -steuerung und Anlagenwarten von außerhalb des Reinraums.