Automatic Mask Aligner — E_827_205181 ChrPat-bla
Auftraggeber: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe · München
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.… hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in München am 17.08.2020 vergeben, Zuschlag an SUSS MicroTec Lithography GmbH. Eingegangen: 3 Angebote.
SUSS MicroTec Lithography GmbH Garching
- Summe
- nicht plausibel
- Angebote
- 3
- Zuschlag
- 17.08.2020
Quelle: Bekanntmachung auf TED (© Europäische Union), veröffentlicht am 20.10.2020.
Angaben in Kürze
Aus den Feldern, ohne KI- Was
- Maschinen und Geräte: Automatic Mask Aligner — E_827_205181 ChrPat-bla
- Wo
- München, Bayern
- Wer kann anbieten
- Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit
- 7 Monate
Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 20.10.2020, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden
Leistungsumfang
Beschreibung laut BekanntmachungCassette-to-cassette fully automatic 7”/9” mask aligner for 150/200 mm wafer substrates. The system must include top side/backside/VIS and IR alignment, run-out compensation, I- and g- line UV LED light source, automatic wafer handling cassette-to-cassette — including thin wafer handling down to 350 μm, SECS-II/GEM interface.
Erfüllungsort
Verlauf
- 16.04.2020 Ausschreibung veröffentlicht
- 20.10.2020 Ergebnis veröffentlicht
Häufige Fragen
Wer hat den Auftrag bekommen?
Den Zuschlag hat SUSS MicroTec Lithography GmbH erhalten.
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