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Zuschlag erteilt Offenes Verfahren (EU-weit) · veröffentlicht am 17.06.2020

Automatic E_Beam Spin Coating and Developing Cluster — E_005_236618 ChrPat-KauAnj - IAF

Auftraggeber: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe · München

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.… hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Freiburg am 19.10.2020 vergeben, Zuschlag an SUSS Microtec Lithography GmbH. Eingegangen: 5 Angebote.

Zuschlag an

SUSS Microtec Lithography GmbH Garching b. München

Summe
nicht plausibel
Angebote
5
Zuschlag
19.10.2020

Quelle: Bekanntmachung auf TED (© Europäische Union), veröffentlicht am 16.12.2020.

Angaben in Kürze

Aus den Feldern, ohne KI
Was
Maschinen und Geräte: Automatic E_Beam Spin Coating and Developing Cluster — E_005_236618 ChrPat-KauAnj - IAF
Wo
Freiburg, Freiburg im Breisgau, Baden-Württemberg
Wer kann anbieten
Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
Laufzeit
01.04.2021 bis 30.04.2021

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 16.12.2020, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden

Leistungsumfang

Beschreibung laut Bekanntmachung

The tender offer applies to an automatic spin coating/developing cluster for semiconductor processing. The system will be used in the framework of electro beam lithography processes on 3“ and 100 mm wafers. The configuration of the cluster includes modules for spin coating and resist developing, 3 hotplates, 1 coolplates, syringe dispense system, video alignment, roboter handler and 4 I/O stations.

Erfüllungsort

Ort
79108 Freiburg
NUTS
DE131

Verlauf

  1. 17.06.2020 Ausschreibung veröffentlicht
  2. 16.12.2020 Ergebnis veröffentlicht

Häufige Fragen

Wer hat den Auftrag bekommen?

Den Zuschlag hat SUSS Microtec Lithography GmbH erhalten.

Quellen Bekanntmachung auf TED ↗ Daten: TED – Tenders Electronic Daily, © Europäische Union, Weiterverwendung mit Quellenangabe. Namen und persönliche Kontaktdaten von Ansprechpersonen entfernen wir automatisch. Ist uns etwas entgangen? Fehler melden

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