Aufdampf-Anlage“ | Innovationszentrum Hamburg QC-i

Im Innovationszentrum Hamburg werden in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Für die Abscheidung metallischer Dünnschichten wird eine Aufdampf-Anlage benötigt. Das aufzutragende Material wird über einen Elektronenstrahlverdampfer verdampft und auf 150 mm Substraten abgeschieden. Der Prozess soll unter anderem die LiftOff-Strukturierung über Abscheidung auf vorstrukturierten Lackmasken unterstützen.