Analytisches Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit integriertem Rastersondenmikroskop

Es soll ein analytisches Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit integriertem Rastersondenmikroskop zur Analyse neuartiger, im Rahmen der Forschungsarbeiten am Zentrum hergestellter Materialien, beschafft werden. Das Gerät soll einen sehr guten Materialkontrast bei der Detektion von Sekundär- und Rückstreuelektronen ermöglichen. Lokale chemische Analysen sollen mit Hilfe der energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDX) hochortsaufgelöst erfolgen. Eine Erfassung von örtlichen kristallinen Eigenschaften ist über Elektronenrückstreubeugung (EBSD) geplant. Dazu ist eine kontrollierte fokussierte Ionenstrahlpräparation der Probenoberfläche erforderlich. Das integrierte Rastersondenmikroskop soll korrelierte Analysen ermöglichen, z.B. neben der Aufnahme der Topographie unter anderem eine Messung der elektronischen und thermischen Eigenschaften. Der Vorteil der Kombination von einem Rasterelektronen- und Rastersondenmikroskop in einem Gerät besteht darin, dass der Elektronenstrahl und die Rastersonde sowohl als Detektor, zur Erfassung von unterschiedlichen lokalen Wechselwirkungsprodukten an der gleichen Probenstelle, als auch als Aktuatoren, zur Modifizierung von örtlichen Probeneigenschaften, verwendet werden können. Diese Hybridmesstechniken geben im Gegensatz zu rein rasterelektronen- bzw. rein rastersondenmikroskopischen Verfahren Zugang zu einer Vielzahl von weiteren relevanten Probeneigenschaften mit höchster Ortsauflösung.