Abscheideanlage für amorphe und mikrokristalline Siliziumschichtsysteme.
Auftraggeber: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe · München
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.… hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Duisburg am 16.10.2018 vergeben, Zuschlag an Applied Materials South East Asia Pte Ltd. Eingegangen: 2 Angebote.
Applied Materials South East Asia Pte Ltd Singapore
- Summe
- nicht plausibel
- Angebote
- 2
- Zuschlag
- 16.10.2018
Quelle: Bekanntmachung auf TED (© Europäische Union), veröffentlicht am 18.10.2018.
Angaben in Kürze
Aus den Feldern, ohne KI- Was
- Maschinen und Geräte: Abscheideanlage für amorphe und mikrokristalline Siliziumschichtsysteme.
- Wo
- Duisburg, Nordrhein-Westfalen
- Wer kann anbieten
- Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit
- 4 Monate
Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 18.10.2018, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden
Leistungsumfang
Beschreibung laut BekanntmachungDas Fraunhofer IMS benötigt ein neues oder generalüberholtes („refurbished“ PECVD-System zur Abscheidung von amorphem Silizium, Siliziumdioxid und Siliziumnitrid. In diesem PECVD-System werden 8“ (200 mm) Wafer nach den im "Lastenheft" aufgeführten Spezifikationen prozessiert. Die Wafer werden automatisch durch einen Robot-Handler von Kassette beladen. Das System soll vom Hersteller als “through the wall” im Reinraum am IMS installiert werden und muss den CMOS-kompatiblen Reinraumbedingungen (class 10) entsprechen. Das Fraunhofer IMS bereitet den Reinraum für die System-Installation vor. Weiter bei II.2.4).
Erfüllungsort
- Ort
- 47057 Duisburg
- Kreis
- Duisburg
- Bundesland
- Nordrhein-Westfalen
- NUTS
- DEA12
Verlauf
- 15.07.2017 Ausschreibung veröffentlicht
- 18.10.2018 Ergebnis veröffentlicht
Häufige Fragen
Wer hat den Auftrag bekommen?
Den Zuschlag hat Applied Materials South East Asia Pte Ltd erhalten.
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