Abluftaufbereitungsanlage IZHH

Im Rahmen der Quantencomputing Initiative des DLR werden im Innovationszentrum Hamburg in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung soll eine Lösung zur Aufbereitung der Abluft verschiedener Fertigungsprozesse beschafft werden. Dies betrifft unter anderem die Fertigungsanlagen für die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD), das reaktive Ionenätzen (RIE) sowie das Gasphasenätzen. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung und Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme/Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation. Darüber hinaus werden Service- und Wartungsleistungen abgefragt. Weitergehende Informationen sind der den Vergabeunterlagen beigefügten Leistungsbeschreibung zu entnehmen.