4061-2017 Ellipsometer.

Gesucht wird ein Ellipsometer zur optischen Charakterisierung von Halbleitern mit einer weiten Bandlücke und dielektrischen Materialien und darauf basierende Dünnschichten und Strukturen im nahen infraroten Spektralbereich (1 600 nm) bis hin zum UV Spektralbereich (195 nm). Um sowohl Anisotropie-Effekte unter Berücksichtigung von Depolarisation als auch Nicht-Reziprozität im Detail untersuchen zu können, soll die Charakterisierung auf Basis der vollständigen Müller-Matrix erfolgen. Um räumliche Gradienten in den optischen Eigenschaften der Proben zu bestimmen, soll das Ellipsometer über eine automatische Mappingeinheit und Probenrotationseinheit verfügen und eine Fokussierung ermöglichen. Die Messung der optischen Eigenschaften in dem zu untersuchenden Spektralbereich soll dabei simultan für alle Wellelängen erfolgen.