3-Achsen Piezo Scanner-System für hochpräzise translatorische Bewegung

Lieferung eines Piezo Scanner-Systems. Das System ist für das hochpräzise Positionieren und die translatorische Bewegung von Proben in drei Raumrichtungen notwendig. Im Rahmen eines zu entwickelnden Experimental-Aufbaus im Bereich der Nanotechnologie wird die vertikale Z-Bewegung genutzt, um den Abstand zwischen einer Probe und einer nanoskaligen Spitze in Abhängigkeit einer Regelgröße konstant zu halten. Die Positionierung muss auf weniger als einen Nanometer genau ausgeführt werden können. In horizontaler XY-Richtung muss die Probe auch während der Positionsregelung in Z-Richtung mit vergleichbaren Anforderungen an die Präzision bewegt werden können. Das System soll in einer bestehenden Vakuumkammer eingesetzt werden und ist daher im Bauraum beschränkt.