2PP-Anlage

Es soll eine 3D-Druckanlage basierend auf der Zwei-Photonen-Polymerisation (maskenlose Lithographie) beschafft werden, womit insbesondere optisch funktionale Mikrokomponenten mit Strukturgrößen unterhalb des Beugungslimits gefertigt werden sollen. Die 2PP-Anlage soll durch Kombination von Galvo- mit Piezotechnologie hohe Schreibgeschwindigkeiten für eine wirtschaftliche Produktion ermöglichen. Neben dem klassischen 3D-Druck im Schicht-zu-Schicht-Verfahren sollen auch echte, beliebige 3D-Trajektorien gefahren werden können. Dabei soll durch geeignete Verfahren eine hohe vertikale Druckauflösung auch in zunehmender Schreibtiefe gewährleistet sein. Hierbei soll insbesondere auf eine Verfahren zurückgegriffen werden, bei dem das transparente Photopolymer gleichzeitig als Imersionssystem zum Einsatz kommt. Es sollen auch Strukturen 3D-gedruckt werden können, deren laterale Dimensionen größer sind als das Schreibfeld. Hierfür muss ein geeignetes Stitching-Verfahren vorhanden sein, um höchste optische Qualität und Funktionalität zu erzielen. Abschattungseffekte des Laserstrahls an den einhüllenden Grenzflächen der Teilstrukturen müssen daher vermieden werden. Der Lieferumfang umfasst ein Komplettsystem bestehend aus der nötigen Hardware und Software, wodurch eine einfache Bedienung im automatisierten Betrieb möglich ist. Dazu zählt ein automatisiertes Verfahren zur Detektion der Grenzflächenposition zwischen Substrat und Photopolymer.