Sputtercluster

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein flexibel einsetzbares Sputterbeschichstungssystem für die Abscheidung dünner Filme aus Metallen, Metall-Oxiden, und -Nitriden zu beschaffen. Die abgeschiedenen Schichten sollen als Tunnelbarrieren, Elektroden, sowie als aktive Schichten in memristiven und kryoelektronischen Bauelementen, als auch in Ferroelektrika Verwendung finden. Ferner, soll das System zur wissenschaftlichen Untersuchung der Abscheidemechanismen und zur Prozessentwicklung verwendet werden.