SiCl4-Zufuhrsystem (Siliziumtretrachlorid)
Auftraggeber: Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme IPMS
Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme IPMS hat einen Auftrag für „SiCl4-Zufuhrsystem (Siliziumtretrachlorid)“ in Dresden ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 12.01.2023. Bisher kein Ergebnis gefunden.
Wir haben bisher kein Ergebnis zu diesem Verfahren gefunden. Bei nationalen Verfahren wird es oft gar nicht oder ohne Bezug zur Ausschreibung veröffentlicht. Auskunft gibt die Vergabestelle.
Wer folgt, bekommt morgens eine E-Mail, sobald ein Ergebnis oder eine Änderung veröffentlicht ist.
Angaben in Kürze
Aus den Feldern, ohne KI- Was
- SiCl4-Zufuhrsystem (Siliziumtretrachlorid)
- Wo
- Dresden, Sachsen
- Bis wann
- Angebotsfrist 12.01.2023, 00:00 Uhr
- Wer kann anbieten
- Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 14.12.2022, ohne KI. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden
Leistungsumfang
Beschreibung laut BekanntmachungEquipments zur Zuführung von gasförmigem Siliziumtetrachlorid (SiCl4) zu zwei Ätzsystemen (Applied Materials Centura) aus einem mit flüssigem SiCl4 gefüllten Precursor-Behälter. Der Precursor-Behälter enthält bis zu 800 g flüssiges SiCl4 . Das gesamte Equipment und alle Subsysteme müssen chemisch stabil sein. Das Gesamtsystem muss kompatibel zur RR-Klasse <=1000 (ca. Klasse 6 EN ISO 14644-1) oder besser sein. SiCl4-Zufuhrsystem (Siliziumtretrachlorid)
Erfüllungsort
Verlauf
- 14.12.2022 Ausschreibung veröffentlicht