RIE-ICP-Trockenätzanlage Plasma Pro 100.

Im Rahmen des Institutsneubaus des MPLs wurde ein neuer Reinraum gebaut, welcher u.a. eine Abteilung beherbergt, die sich mit Mikro- und Nanostrukturierung beschäftigt. Die Strukturen, welche dort hergestellt werden sollen, umfassen unterschiedlichste Gebiete, wie diffraktive optische Elemente, Nanoantennen, Mikro- und Nanofluidik, integrierte Optik, Subwellenlängenstrukturen zur Manipulation der Polarisation und Phasenplatten. Die Strukturen selber wiederum finden Anwendung in unterschiedlichen Forschungsprojekten der verschiedenen Abteilungen des MPLs. Einer der wichtigsten Prozessschritte ist dabei das reproduzierbare Trockenätzen von Gläsern und Fused Silica.