Rasterelektronenmikroskop

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zur schnellen Probeninspektion und Vermessung von Nano- und Mikrostrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM) anzuschaffen. Typische Messaufgaben sind die Analyse von 3D-Strukturen, die mittels Mikrostrukturverfahren hergestellt wurden. Eine typische Anwendung ist die Bildaufnahme von wenig oder nicht leitfähigen Proben. Zum Einsatz kommt das REM hauptsächlich bei folgenden wissenschaftlichen Fragestellungen: - Untersuchung von Proben während der Herstellung im Reinraum, insbesondere empfindliche Resiststrukturen nach der Elektronenstrahllithografie und nach verschiedenen Ätzprozessen - CD-Messung - Charakterisierung von Oberflächen nach Beschichtung mit ALD, Sputtern, Verdampfen - Topographie von laserstrukturierten Proben, Materialveränderung nach Wechselwirkung mit Licht (Laser) oder Ionen - Geometrische Analyse von Nanopartikeln - Abbildung von Baulementen (Chip)