PEALE-Prozesskit für RIE-Ätzanlage SI 500
Auftraggeber: Friedrich-Schiller-Universität Jena · Jena
Friedrich-Schiller-Universität Jena hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Jena am 08.06.2023 vergeben, Zuschlag an SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH. Zuschlagssumme nach den Angaben der Bekanntmachung: 109.240 €.
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH Krailling
- Summe
- 109.240 €
- Angebote
- nicht veröffentlicht
- Zuschlag
- 08.06.2023
Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), veröffentlicht am 22.06.2023.
Angaben in Kürze
Aus den Feldern, ohne KI- Was
- Labor- und Messtechnik: PEALE-Prozesskit für RIE-Ätzanlage SI 500
- Wo
- Jena, Thüringen
- Wer kann anbieten
- Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 22.06.2023, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden
Leistungsumfang
Beschreibung laut BekanntmachungDie Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt die Beschaffung eines PEALE-Prozesskits für eine bestehende RIE-Ätzanlage SI 500 der Firma Sentech. Diese Anlage wird für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels RIE-Verfahren in diverse Materialien genutzt. Durch die Erweiterung der Anlage wird die Durchführung von PEALE (Plasma Enhanced Atomic Layer Etching) Prozessen möglich. Die erweiterte Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit chlorhaltigen Gasen ätzen lassen.
Erfüllungsort
Verlauf
- 19.04.2023 Ausschreibung veröffentlicht
- 22.06.2023 Ergebnis veröffentlicht
Häufige Fragen
Wer hat den Auftrag bekommen?
Den Zuschlag hat SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH erhalten, Summe 109.240 €.
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