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Zuschlag erteilt Nur 1 Angebot Wettbewerblicher Dialog (EU-weit) · veröffentlicht am 25.06.2019

Lieferung und Inbetriebnahme eines flexibel einsetzbaren Atomlagen-Ätzsystems mit Plasmaunterstützung (ALE)

Auftraggeber: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung · Ilmenau

Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in TU Ilmenau am 05.11.2020 vergeben, Zuschlag an SENTCH GmbH. Zuschlagssumme nach den Angaben der Bekanntmachung: 480.000 €. Eingegangen: 1 Angebot.

Zuschlag an

SENTCH GmbH Kraillng

Summe
480.000 €
Angebote
1 Nur 1 Angebot
Zuschlag
05.11.2020

Quelle: Bekanntmachung auf TED (© Europäische Union), veröffentlicht am 11.11.2020.

Angaben in Kürze

Aus den Feldern, ohne KI
Was
Maschinen und Geräte: Lieferung und Inbetriebnahme eines flexibel einsetzbaren Atomlagen-Ätzsystems mit Plasmaunterstützung (ALE)
Wo
TU Ilmenau, Ilm-Kreis, Thüringen
Wer kann anbieten
Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
Laufzeit
12 Monate

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 11.11.2020, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden

Leistungsumfang

Beschreibung laut Bekanntmachung

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, flexibel einsetzbares Atomlagen-Ätzsystems mit Plasmaunterstützung (ALE) für die atomlagengenaue Abtragung dünner Filme aus Metallen, Metall-Oxiden, -Nitriden sowie optional -Sulfiden für Anwendungen als Tunnelbarrieren oder Elektroden in memristiven und kryoelektronischen Bauelementen, als Ferroelektrika und als 2D-Materialien sowie zur wissenschaftlichen Untersuchung der Abtragsmechanismen und zur Prozessentwicklung zu beschaffen.

Erfüllungsort

Ort
TU Ilmenau
Kreis
Ilm-Kreis
Bundesland
Thüringen
NUTS
DEG0F

Verlauf

  1. 25.06.2019 Ausschreibung veröffentlicht
  2. 11.11.2020 Ergebnis veröffentlicht

Häufige Fragen

Wer hat den Auftrag bekommen?

Den Zuschlag hat SENTCH GmbH erhalten, Summe 480.000 €.

Quellen Bekanntmachung auf TED ↗ Daten: TED – Tenders Electronic Daily, © Europäische Union, Weiterverwendung mit Quellenangabe. Namen und persönliche Kontaktdaten von Ansprechpersonen entfernen wir automatisch. Ist uns etwas entgangen? Fehler melden

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