Lieferung, Aufstellung und Inbetriebnahme eines Analysesystems zur Elektronenrückstreubeugung (EBSD)

Das anzubietende Gesamtsystem aus EBSD Detektor, Steuer- und Auswertesoftware inkl. zugehörigen PC soll an einem bestehenden Rasterelektronenmikroskop (Zeiss EVO Ma 15, W-Emitter, vorhandener EDS-Detektor Bruker XFlash Serien-Nr. 2337) nachgerüstet werden. Das Rasterelektronenmikroskop befindet sich im Mikroskopielabor der Fakultät Elektrotechnik an der Hochschule Schmalkalden. Das EBSD-System soll für die Gefüge- und Texturanalyse, die Phasenidentifikation und die kristallographischen Charakterisierung von Grenzflächen in metallischen und keramischen Materialien bzw. von Querschnitten mikroelektronischer Bauelemente und Komponenten eingesetzt werden.