Kauf, Lieferung und Installation eines Automatisierten Arbeitsplatzes zum Beschichten mittels Spincoating und Charakterisierung der aufgetragenen Schichtdicke

Gesucht wird für die anwendungsorientierte wissenschaftliche Grundlagenforschung ein Aufbau, mit welchem Probenmaterialien automatisiert durch einen Spincoater beschichtet werden können. Es sollen Schichtdicken von 1nm bis zu 200µm automatisiert hergestellt und vermessen werden. Zum geplanten Gesamtablauf des Coatings soll das Beschichten mittels Spincoater (incl. Pipettierung) sowie die automatische Bestimmung der Schichtdicken gehören. Ferner soll die Möglichkeit bestehen den Aufbau durch weitere Komponenten (z.B. Bladecoater, oder Heizung etc.) zukünftig modular erweitern zu können. Der Gesamtaufbau muss innerhalb einer Glovebox Labmaster der Firma mBraun aufgebaut werden, wodurch sich die maximalen Abmaße als Grundfläche für den Gesamtaufbau von 1200 x 770 x 900 mm³ ergeben. Die Gesamtmasse des Systems inklusive aller Anbauteile darf 200 Kg nicht überschreiten. Die zu händelnden Proben sind Quarzglas und Si Wafer bis zu einer Größe von 25 x 25 mm² Die Stromversorgung des Aufbaues sollte ausschließlich über 50 Hz 230 VAC Anschlüsse erfolgen können. Es muss ein wochentäglicher online Support sowie die Verfügbarkeit von Ersatzteilen für min 10 Jahre auch ohne Wartungsvertrag gewährleistet sein. Eine umfangreiche Dokumentation der Software ist ebenfalls zu gewährleisten. Spincoater, Wissenschaftliche Geräte