Installation ALD-Hybrid Beschichtungsanlage

Es ist das Ziel, den Atomic Layer Deposition (ALD) Beschichtungsprozess mit einem zweiten Schichtwachstumsprozess der PVD-Kategorie (Physical Vapor Deposition) zu kombinieren. Zu diesem Zweck solle ein vollausgestatteter ALD Prozess, inkl. eines thermischen und plasmaaktivierten ALD, in ein Clustertool integriert werden. Zusätzlich zur ALD Prozesskammer soll das Clustertool ein Load-Lock-System beinhalten, eine automatisierte Transfereinheit, um die Substratpalette zwischen ALD und PVD Prozess zu transferieren, sowie eine zweite Beschichtungskammer. Der Auftraggeber wird diese zweite Kammer nach Auslieferung mit weiterer Ausstattung versehen, um die voll funktionierende Hybridanlage fertigzustellen. Das Hybridsystem soll am Ende Einzelschichten aus beiden Prozessen zu einem komplexen Mehrschichtsystem zusammenführen können, ohne das Vakuum zu brechen. Der ALD Prozess und der automatische Probentransfer werden bei Auslieferung voll funktionstüchtig sein.