In-situ Rasterelektronenmikroskop zur Nanodiagnostik (EDX, WDX, GIS, el. Messtechnik)

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen ein flexibel einsetzbares Rasterelektronenmikroskop für in-situ Anwendungen im Bereich der Nanodiagnostik zu beschaffen. Es sollen physikalische Fragestellungen orts- und zeitaufgelöst beantwortet werden. Dabei spielen unter anderem die kombinatorische in-situ rasterelektronenmikroskopische und elektrische sowie chemische Untersuchung und Charakterisierung u.a. von Gassensoren, von memristiver Elektronik sowie von Batteriematerialien eine Rolle. Diese als Schichten bzw. Bulk-Material vorliegenden Werkstoffe bestehen überwiegend aus Metallen, Metalloxiden, -sulfiden bzw. -nitriden. Zudem sind sowohl durch eine Gasinjektion während der Untersuchung im behandelten Probenbereich elektrische und chemische Messungen zum Nachweis der Veränderung der Schicht- und Bauteileigenschaften vorgesehen. Für den Nachweis von quantitativen Änderungen chemischer Art sind ein EDX und ein WDX System notwendig.