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Zuschlag erteilt Nur 1 Angebot Wettbewerblicher Dialog (EU-weit) · veröffentlicht am 18.03.2019

Flexibel einsetzbare Atomlagen-Depositionssystem mit Plasmaunterstützung (PEALD)

Auftraggeber: TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung · Ilmenau

TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in TU-Ilmenau am 06.08.2020 vergeben, Zuschlag an Beneq Oy. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 575.000 €. Eingegangen: 1 Angebot.

Zuschlag an

Beneq Oy Espoo

Summe
575.000 €
Angebote
1 Nur 1 Angebot
Zuschlag
06.08.2020

Quelle: Bekanntmachung auf TED (© Europäische Union), veröffentlicht am 12.08.2020.

Angaben in Kürze

Aus den Feldern, ohne KI
Was
Maschinen und Geräte: Flexibel einsetzbare Atomlagen-Depositionssystem mit Plasmaunterstützung (PEALD)
Wo
TU-Ilmenau, Ilm-Kreis, Thüringen
Wer kann anbieten
Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
Laufzeit
24 Monate

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 12.08.2020, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden

Leistungsumfang

Beschreibung laut Bekanntmachung

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein flexibel einsetzbares Atomlagen-Depositionssystem mit Plasmaunterstützung (PEALD) für die atomlagengenaue Abscheidung dünner Filme von Metallen, Metall-Oxiden und -Nitriden sowie optional –Sulfiden definierter Stöchiometrie für Anwendungen als Tunnelbarrieren oder Elektroden in memristiven und kryoelektronischen Bauelementen, als Ferroelektrika und als 2D-Materialien sowie zur wissenschaftlichen Untersuchung der Abscheidemechanismen und zur Prozessentwicklung zu beschaffen.

Erfüllungsort

Ort
TU-Ilmenau
Kreis
Ilm-Kreis
Bundesland
Thüringen
NUTS
DEG0F

Verlauf

  1. 18.03.2019 Ausschreibung veröffentlicht
  2. 12.08.2020 Ergebnis veröffentlicht

Häufige Fragen

Wer hat den Auftrag bekommen?

Den Zuschlag hat Beneq Oy erhalten, Summe 575.000 €.

Quellen Bekanntmachung auf TED ↗ Daten: TED – Tenders Electronic Daily, © Europäische Union, Weiterverwendung mit Quellenangabe. Namen und persönliche Kontaktdaten von Ansprechpersonen entfernen wir automatisch. Ist uns etwas entgangen? Fehler melden

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