Dünnschicht-Messsystem

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt die Beschaffung eines Dünnschicht-Messsystems zur Messung physikalischer Eigenschaften von dünnen Schichten, insbesondere auch thermoelektrischen Schichten. Das System soll dafür geeignet sein, an einer einzelnen dünnen Schicht in einem Messdurchlauf mehrere physikalische Eigenschaften zu erheben. Insbesondere sollte das System in der Lage sein, Schichten, die mittels PVD-Prozessen oder Spin-Coating-Verfahren abgeschieden werden, zu analysieren.