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Zuschlag erteilt Nur 1 Angebot Offenes Verfahren (EU-weit) · veröffentlicht am 14.03.2017

Cluster-Trockenätzanlage.

Auftraggeber: Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. · Villingen-Schwenningen

Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Villingen-Schwenningen am 15.05.2017 vergeben, Zuschlag an Oxford Instruments GmbH. Eingegangen: 1 Angebot.

Zuschlag an

Oxford Instruments GmbH Wiesbaden

Summe
nicht veröffentlicht
Angebote
1 Nur 1 Angebot
Zuschlag
15.05.2017

Quelle: Bekanntmachung auf TED (© Europäische Union), veröffentlicht am 02.06.2017.

Angaben in Kürze

Aus den Feldern, ohne KI
Was
Maschinen und Geräte: Cluster-Trockenätzanlage.
Wo
Villingen-Schwenningen, Schwarzwald-Baar-Kreis, Baden-Württemberg
Wer kann anbieten
Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 02.06.2017, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden

Leistungsumfang

Beschreibung laut Bekanntmachung

Hahn-Schickard beabsichtigt eine Neuanschaffung einer Cluster-Trockenätzanlage für die Strukturierung von Silizium und dielektrischen Schichten. Die Anlage muss für die Bearbeitung von 100 mm- und 150 mm-Wafern geeignet sein und soll dem 200 mm SEMI MESC Standard entsprechen. Die Anlage soll aus zwei ICP-RIE Kammern bestehen und jeweils über eine eigene Kassettenstation beladen werden. Die Anlage ist für einen 3-Schichtbetrieb auszulegen und soll für den Betrieb in einem Reinraum der Klasse 10 (ISO 4) geeignet sein.

Erfüllungsort

Ort
78052 Villingen-Schwenningen
NUTS
DE136

Verlauf

  1. 14.03.2017 Ausschreibung veröffentlicht
  2. 02.06.2017 Ergebnis veröffentlicht

Häufige Fragen

Wer hat den Auftrag bekommen?

Den Zuschlag hat Oxford Instruments GmbH erhalten.

Quellen Bekanntmachung auf TED ↗ Daten: TED – Tenders Electronic Daily, © Europäische Union, Weiterverwendung mit Quellenangabe. Namen und persönliche Kontaktdaten von Ansprechpersonen entfernen wir automatisch. Ist uns etwas entgangen? Fehler melden

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