Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
Auftraggeber: Ruhr-Universität Bochum (RUB) · Bochum
Ruhr-Universität Bochum (RUB) hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik in Bochum ausgeschrieben. Teilnahmeanträge waren bis 14.09.2026 möglich. Ergebnis noch nicht veröffentlicht.
Die Vergabestelle wählt aus, wer ein Angebot abgeben darf. Sobald ein Ergebnis veröffentlicht ist, steht es hier.
Wer folgt, bekommt morgens eine E-Mail, sobald ein Ergebnis oder eine Änderung veröffentlicht ist.
Angaben in Kürze
Aus den Feldern, ohne KI- Was
- Labor- und Messtechnik: Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
- Wo
- Bochum, Nordrhein-Westfalen
- Bis wann
- Teilnahmeantrag bis 14.09.2026, 12:00 Uhr
- Wer kann anbieten
- Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 13.08.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden
Leistungsumfang
Beschreibung laut BekanntmachungDie Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
Erfüllungsort
- Ort
- 44801 Bochum
- Kreis
- Bochum
- Bundesland
- Nordrhein-Westfalen
- NUTS
- DEA51
Verlauf
- 13.08.2026 Ausschreibung veröffentlicht
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