Rasterelektronenmikroskop (REM) mit integrierter Mikrofräsapparatur

Das Mikrofräsen ist ein flexibles und ökonomisches Herstellungsverfahren von Mikrostrukturen in vielen Anwendungsbereichen. Bei der Herabskalierung treten sogenannte Größeneffekte auf, welche die Spanbildung in starkem Maße beeinflussen. Daher sind für die Mikrozerspanung aufgrund fehlenden Prozessverständnisses keine allgemeingültigen Spanbildungsmodelle vorhanden. In LPME ermöglicht der Einsatz eines Rasterelektronenmikroskops (REM) mit integrierter Mikrofräsapparatur die Spanbildung beim Mikrospanen mit sehr geringen Spanungsdicken erstmals unter realen Prozessbedingungen direkt zu beobachten und zu verstehen. Durch die Mikrozerspanung im Orthogonalschnitt im REM kann die veränderte Spanbildung visualisiert und untersucht und so Spanbildungsmodelle für die Mikrobearbeitung aufgestellt und die Prozesse tiefer erforscht werden.