# XeF2-Gasphasenätzer IZHH

Zuschlag erteilt

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Hamburg am 19.04.2024 vergeben, Zuschlag an memsstar Limited. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr)
- Was: Labor- und Messtechnik: XeF2-Gasphasenätzer IZHH
- Wo: Hamburg
- Wer kann anbieten: Der Auftraggeber verhandelt direkt mit ausgewählten Unternehmen.
- Laufzeit: 48 Monate
- Zuschlag an: memsstar Limited
- Zuschlag am: 19.04.2024
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 2

## Gewinner

- [memsstar Limited](https://vergabeweiser.de/unternehmen/memsstar-limited), Livingston

## Leistungsumfang

Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Zur Strukturierung von Si-Schichten soll eine Anlage zum XeF2-basierten Gasphasenätzen beschafft werden. Mit diesem Verfahren sollen unter anderem Si-Schichten isotrop auf 150 mm Wafern in einem trockenen Verfahren geätzt werden, zum Beispiel zur Hinterätzung von als Maske fungierenden Schichten oder als Release-Ätzung. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation. Darüber hinaus sind Service- und Wartungsleistungen zu erbringen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Vergabe ohne Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Die Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: fca3da80-bf5a-46e6-b050-ff69aad0e74a

## Verlauf

- 24.04.2024: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat memsstar Limited erhalten.

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- [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 24.04.2024, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=fca3da80-bf5a-46e6-b050-ff69aad0e74a. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/xef2-gasphasenaetzer-izhh-fca3da80