# WDH - Maskless Aligner

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Jena am 17.06.2024 vergeben, Zuschlag an Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 434.210 €. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/leibniz-institut-fuer-photonische-technologien-ev)
- Was: Labor- und Messtechnik: WDH - Maskless Aligner
- Wo: Jena, Thüringen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Zuschlag an: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
- Zuschlag am: 17.06.2024
- Summe: 434.210 €
- Angebote: 1

## Gewinner

- [Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/heidelberg-instruments-mikrotechnik-gmbh), Heidelberg

## Leistungsumfang

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchip bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind Strukturauflösungen bis 600 nm Linienbreite (CD) im Resist, präzise Mehrebenen-Justage mit bis zu 250 nm Überdeckungsgenauigkeit und Schreibgeschwindigkeiten, die Belichtungsanzahlen von mind. 1000 Wafer pro Jahr ermöglichen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: 457.300 €
- Nachprüfung: Thüringer Landesverwaltungsamt / Geschäftsstelle der Vergabekammer
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 9098450e-0d94-4c7d-b83c-6b389c04fe46

## Verlauf

- 23.04.2024: Ausschreibung veröffentlicht
- 18.06.2024: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH erhalten, Summe 434.210 €.

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- [Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/leibniz-institut-fuer-photonische-technologien-ev): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 18.06.2024, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=52414573-cedf-450b-bbf1-4809f4fd257d. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/wdh-maskless-aligner-9098450e