# Waferimplantationskammer im Tellerraddesign.

Zuschlag erteilt

Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V. hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Dresden am 26.06.2017 vergeben. Wer den Zuschlag bekommen hat, steht nicht in der Bekanntmachung.

- Auftraggeber: [Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/helmholtz-zentrum-dresden-rossendorf-ev)
- Was: Labor- und Messtechnik: Waferimplantationskammer im Tellerraddesign.
- Wo: Dresden, Sachsen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: bis 15.12.2017
- Zuschlag an: Gewinner nicht veröffentlicht
- Zuschlag am: 26.06.2017
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: nicht veröffentlicht

## Leistungsumfang

Auftragsgegenstand ist die Konstruktion, Fertigung, Lieferung und Inbetriebnahme einer Vakuum-Prozeßkammer zur Ionenimplantation von vorzugsweise Si- Wafern (SEMI-Standard: 2“ bis 200 mm Durchmesser). Die Prozessierung erfolgt als Si-Einzelwafer-Ionenimplantation, wobei die Kammer eine vorgegebene Anzahl von Wafern aufnehmen muß. Die Bestückung der Prozeßkammer mit Si-Wafern erfolgt manuell. Die Prozeßkammer wird an einer beim Auftraggeber vorhandene Beamline eines 500 kV Ionenimplanters (horizontale Mittelachse Strahlrohr: 1 535 mm) unter Beachtung der räumlichen Gegebenheiten in einem Reinraumzelt installiert werden. Die räumlichen Maße sind den Ausschreibungsunterlagen zu entnehmen. Die Schnittstelle zwischen Beamline und Prozesskammer wird durch einen kundenseitig vorhandenen Schieber mit 11 cm langem Rohrstück (ISO- K320) definiert.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Öffentliche Ausschreibung (national)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer des Bundes
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 144713-2017

## Verlauf

- 15.04.2017: Ausschreibung veröffentlicht
- 29.06.2017: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Der Auftraggeber hat den Gewinner nicht veröffentlicht.

## Weitere Zuschläge dieses Auftraggebers

- [A continuos-wave and single-frequency laser source](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/a-continuos-wave-and-single-frequency-laser-source-94bc74c8) · Zuschlag 06.07.2026 an HÜBNER GmbH & Co. KG · 1 Angebot
- [Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/deep-reactive-ion-etching-drie-si-fluorine-chemistry-etcher-da04575b) · Zuschlag 09.06.2026 an SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH · 1 Angebot
- [Femtosecond Laser System](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/femtosecond-laser-system-adecbb2c) · Zuschlag 05.06.2026 an Light Conversion GmbH · 1 Angebot
- [Reinstgermaniumdetektoren](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/reinstgermaniumdetektoren-89724693) · Zuschlag 27.04.2026 an AMETEK GmbH · 3 Angebote
- [Spectroscopic imaging ellipsometer (ES) with atomic force microscope (AFM)](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/spectroscopic-imaging-ellipsometer-es-with-atomic-force-microscope-afm-d1702e4d) · Zuschlag 09.03.2026 an Park Systems Europe GmbH · 1 Angebot
- [Dry cryostat with superconducting magnet and optical access](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/dry-cryostat-with-superconducting-magnet-and-optical-access-6a4f3922) · Zuschlag 10.02.2026 an ICEoxford Limited · 2 Angebote

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Dresden](https://vergabeweiser.de/region/sachsen/dresden): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/helmholtz-zentrum-dresden-rossendorf-ev): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Öffentliche Ausschreibung](https://vergabeweiser.de/wissen/oeffentliche-ausschreibung): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 29.06.2017, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 01.11.2026.

Fehler melden: https://vergabeweiser.de/fehler-melden?seite=https%3A%2F%2Fvergabeweiser.de%2Fausschreibung%2Fwaferimplantationskammer-im-tellerraddesign-1447132017

---
Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/247068-2017. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/waferimplantationskammer-im-tellerraddesign-1447132017