# UV-Lithografiesystem (Mask-Aligner mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, Zentrale… hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik im Ilm-Kreis am 21.08.2024 vergeben, Zuschlag an EV Group E. Thallner GmbH. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, Zentrale Vergabestelle
- Was: Labor- und Messtechnik: UV-Lithografiesystem (Mask-Aligner mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage
- Wo: Ilm-Kreis, Thüringen
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag. Es werden 3 bis 5 Bewerber zur Angebotsabgabe aufgefordert.
- Zuschlag an: EV Group E. Thallner GmbH
- Zuschlag am: 21.08.2024
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 1

## Gewinner

- [EV Group E. Thallner GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/ev-group-e-thallner-gmbh), Neuhaus am Inn

## Leistungsumfang

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein UV-Lithografiesystem mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage mit Autoalignmentfunktion für die maskenbasierte deckungsgenaue Mehrebenenlithografie für 2,5- und 3-dimensionale Mikro- und Nanostrukturen auf Substraten bis 150 mm Durchmesser sowie Bondalignment im Laborbetrieb zu beschaffen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: 442.000 €
- Nachprüfung: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 0e83c92c-29d9-43b1-9a04-e24e33f05070

## Verlauf

- 06.03.2024: Ausschreibung veröffentlicht
- 17.09.2024: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat EV Group E. Thallner GmbH erhalten.

## Weitere Zuschläge dieses Auftraggebers

- [Projektumgebung für Halbzeug auf dynamischen Fahrsimulator](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/projektumgebung-fuer-halbzeug-auf-dynamischen-fahrsimulator-d7b11801) · Zuschlag 13.07.2026 an WE are XR GmbH · 2 Angebote
- [Laser Doppler Vibrometers mit Mehrkanal Interferometrie und Empfangsdiversität](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/laser-doppler-vibrometers-mit-mehrkanal-interferometrie-und-4903ad03) · Zuschlag 20.05.2026 an Polytec GmbH · 1 Angebot
- [hochfrequenz Datenaquisesystem](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/hochfrequenz-datenaquisesystem-b8f311b3) · Zuschlag 20.05.2026 an Dewesoft Deutschland GmbH · 1 Angebot
- [Forschungsplattform AVF (L4) unter Berücksichtigung der erforderlichen Sensorik und Steuerung sowie der Ertüchti-gung für reale Fahrtests](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/forschungsplattform-avf-l4-unter-beruecksichtigung-der-erforderlichen-daf9f351) · Zuschlag 08.12.2025 an Einzelunternehmen aus Dubai Aviation City, Dubai · 2 Angebote
- [Hochautomatisierte Fahrzeugplattform mit integrierter Software](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/hochautomatisierte-fahrzeugplattform-mit-integrierter-software-a59e9465) · Zuschlag 26.11.2025 an Soda.AUtttTO UK Ltd · 2 Angebote
- [HPC Hardware Komponenten](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/hpc-hardware-komponenten-e02abcc3) · Zuschlag 21.11.2025 an sysgen GmbH · 1 Angebot

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen im Ilm-Kreis](https://vergabeweiser.de/region/thueringen/landkreis-ilm-kreis): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Ausschreibungen von Universitäten und Hochschulen](https://vergabeweiser.de/thema/hochschulen): Ausschreibungen und Zahlen
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 17.09.2024, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

Fehler melden: https://vergabeweiser.de/fehler-melden?seite=https%3A%2F%2Fvergabeweiser.de%2Fausschreibung%2Fuv-lithografiesystem-mask-aligner-mit-uv-led-beleuchtung-und-0e83c92c

---
Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=3b10ea3c-8f30-442f-a77e-825eb44ffc29. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/uv-lithografiesystem-mask-aligner-mit-uv-led-beleuchtung-und-0e83c92c