# Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

Abgelaufen · Teilnahmewettbewerb

IHP GmbH - Lebniz-Institut für innovative Mikroelektronik hat einen Auftrag für Maschinen und Geräte in Frankfurt (Oder) ausgeschrieben. Teilnahmeanträge waren bis 07.07.2026 möglich. Ergebnis noch nicht veröffentlicht.

- Auftraggeber: [IHP GmbH - Lebniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ihp-gmbh-lebniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik)
- Was: Maschinen und Geräte: Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration
- Wo: Frankfurt (Oder), Brandenburg
- Bis wann: Teilnahmeantrag bis 07.07.2026, 12:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab. Für KMU geeignet laut Bekanntmachung.
- Vergabeunterlagen: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYTV00GM8K/documents
- Vergabeplattform: [vergabemarktplatz.brandenburg.de](https://vergabeweiser.de/plattform/vergabemarktplatz-brandenburg)

## Leistungsumfang

Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie
- CPV-Code: 42990000-2
- CPV-Bezeichnung: [Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42990000-diverse-maschinen-und-geraete-fuer-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: 093c22ad-1db1-4e81-9aae-3b13fac0624c

## Verlauf

- 05.06.2026: Ausschreibung veröffentlicht

## Zuschläge dieses Auftraggebers

- [Beschaffung einer Entwicklungsplattform für Slurry bassierte Einzelprobenpräperation](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/beschaffung-einer-entwicklungsplattform-fuer-slurry-bassierte-fa48480c) · Zuschlag 02.10.2026 an SECTOR TECHNOLOGIES SAS
- [Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/batch-tools-for-lpvcd-btbas-nitride-oxide-and-oxynitride-processes-09611150) · Zuschlag 26.03.2026 an ASM Europe B.V. · 1 Angebot
- [Thermal oxidation system for the production of wet- and dry-oxides](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/thermal-oxidation-system-for-the-production-of-wet-and-dry-oxides-2706b1a1) · Zuschlag 20.03.2026 an ASM Europe B.V. · 1 Angebot
- [Si Wafer, 200mm / P / Bor / <100> / 5-22 Ohm*cm](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/si-wafer-200mm-p-bor-100-5-22-ohmcm-edc833df) · Zuschlag 20.01.2026 an MEMC Electronic Materials Spa · 3 Angebote
- [Standard Cleaning Batch Tool for 130 nm Technology on 200mm Si wafers](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/standard-cleaning-batch-tool-for-130-nm-technology-on-200mm-si-wafers-b1494a5b) · Zuschlag 06.01.2026 an AP und S International GmbH · 2 Angebote
- [Austausch Druckerhöhung Prozesskühlwasser im Reinraum](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/austausch-druckerhoehung-prozesskuehlwasser-im-reinraum-f1876a55) · Zuschlag 08.12.2025 an Suatec GmbH · 1 Angebot

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Frankfurt (Oder)](https://vergabeweiser.de/region/brandenburg/frankfurt-oder): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [IHP GmbH - Lebniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ihp-gmbh-lebniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 05.06.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 04.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=093c22ad-1db1-4e81-9aae-3b13fac0624c. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/upgrade-of-a-200-mm-wxz-tungsten-cvd-chamber-to-wxz-sprint-093c22ad