# Trockenätzer

Zuschlag erteilt

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.… hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Berlin am 12.09.2018 vergeben, Zuschlag an SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
- Was: Maschinen und Geräte: Trockenätzer
- Wo: Berlin
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 10 Monate
- Zuschlag an: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
- Zuschlag am: 12.09.2018
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 2

## Gewinner

- [SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/sentech-gesellschaft-fuer-sensortechnik-mbh), Krailling

## Leistungsumfang

Trockenätzer: Die gesuchte Anlage soll eine durch Maskierung vorgegebene Struktur in eine dielektrische Schicht, die auf einem Halbleiterwafer deponiert wurde, übertragen. Hier wird als gängiges Verfahren das reaktive Ionenätzen gefordert. Um eine Kontinuität der gegenwärtigen Prozessierung zu gewährleisten, soll das Ätzen mit einer ICP-Anlage und den Gasen CHF3, CF4, H2 und O2 durchgeführt werden. Geätzt werden sollen die Materialien SiNx und SiOx in einem Multiwafer Betrieb 3 x 3“. Die Wafer sollen ohne thermische Ankopplung mit Lackmaske ätzbar sein. Eine Ätzung von einer Wafergröße bis zu 6“ soll gewährleistet werden. Des Weiteren muss die Ätzanlage über ein Endpunktkontrollsystem verfügen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (national)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Die Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
- CPV-Code: 42990000-2
- CPV-Bezeichnung: [Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42990000-diverse-maschinen-und-geraete-fuer-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: 091565-2018

## Verlauf

- 01.03.2018: Ausschreibung veröffentlicht
- 13.10.2018: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH erhalten.

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- [Ausschreibungen der Fraunhofer-Gesellschaft](https://vergabeweiser.de/thema/fraunhofer): Ausschreibungen und Zahlen
- [Verhandlungsvergabe](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsvergabe): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 13.10.2018, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 01.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/447867-2018. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/trockenaetzer-0915652018