# Tiefe Oxidätzkammer „Synapse“

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Frankfurt (Oder) am 22.06.2020 vergeben, Zuschlag an SPTSTechnologies Limited. Zuschlagssumme nach den Angaben der Bekanntmachung: 824.768 €. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ihp-gmbh-leibniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik)
- Was: Labor- und Messtechnik: Tiefe Oxidätzkammer „Synapse“
- Wo: Frankfurt (Oder), Brandenburg
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 1 Monat
- Zuschlag an: SPTSTechnologies Limited
- Zuschlag am: 22.06.2020
- Summe: 824.768 €
- Angebote: 1

## Gewinner

- [SPTSTechnologies Limited](https://vergabeweiser.de/unternehmen/sptstechnologies-limited), South Wales

## Leistungsumfang

1. Synapse Prozesskammer für Tiefes Oxidätzen, zu installieren an einem vorhandenen fxP Versalis Transportmodul von Fa. SPTS an dem bereits 1x Rapier- und 1x APM-Kammer montiert sind; 2. Mindestanforderung an Kammer: 2.1. Installation in Reinraum Klasse 1, 2.2. Einsatzgebiet Tiefes Oxidätzen (low pressure + high density plasma) von 200 mm Wafer, 2.3. Hardware und Prozess muss vollständig mit state of the art Software gesteuert und in die bestehende Anlage und Anlagensteuerung integriert werden, ohne das bereits vorhandene Prozesse und Hardwarekomponenten davon beeinflusst werden, 2.4. für die gesamte Kammer und für das geänderte Gesamtsystem muss die CE-Konformität erklärt werden, 2.5. Kammer entspricht der aktuellen EG-Maschinenrichtlinie. 3. Kammerausstattung: 3.1. Planare ICP source, 3.2. Source Generator für RF, 3.3. Bias Generator für RF, 3.4. Matching unit für source RF/bias RF, 3.5. Temperatur gemanagte Maglev Turbopumpe, 3.6. beheizbares VAT pendulum valve, 3.7. Digitale MFC gesteuerte Gaslinien, Gase und MFC Größen noch zu definieren anhand der Prozessspezifikation, 3.8. Ceramic echuck mit He back side pressure, 3.9. Optisches Endpunktsystem für Prozesskontrolle, 3.10. Chiller passend zur Kammer, der die Prozessspezifikation garantiert. 4. Prozess: 4.1. Mindestanforderung Prozessspezifikation. a) Allgemein: Oxidätzen: — Selektivität zum Resist > 5:1; — Selektivität zu Si > 15:1; — Oxidätzrate > 500 nm/min; — Uniformity +/- 3 %. Nitridätzen: — Nitridätzrate > 200 nm/min; — Oxid/Nitrid-Selektivität > 5:1; — Nitrid/Oxid-Selektivität > 4:1. b) Prozess: — Ätzen von 20 Müm dicken Oxidschichten über Resist mit Stopp auf Si; — Profilwinkel 84 bis 90Grad; — space width > 10 Müm. 4.2. nach Installation der Kammer Nachweis eines vom IHP definierten Prozesses. 5. System allgemein: 5.1. Zusätzlich 12 Monate Garantie, 5.2. Installation und Inbetriebnahme. 6. Dokumente: 6.1. Facility Installation manual und FDS, 6.2. Maintenance manual, 6.3. Servicemanuals (u. a. Schaltpläne, Teileliste), 6.4. Sicherheitsdokumentation und Bedienerdokumentation, 6.5. OEM Dokumentation verbauter Teile, 6.6. User guide. 7. Training: 7.1. Operation and maintenance chamber training. 8. Weitere optionale Anforderungen: 8.1. verlängerte elektrische Kabel (20m), 8.2. 20 m Schlauch für chiller, 8.3. Verbrauchsmaterial kit, 8.4. Ersatzteil kit. 9. Lieferung DDP, CIP oder DAP nach Incoterms 2010 Wareneingang IHP.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: 900.000 €
- Nachprüfung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 185979-2020

## Verlauf

- 22.04.2020: Ausschreibung veröffentlicht
- 11.11.2020: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat SPTSTechnologies Limited erhalten, Summe 824.768 €.

## Weitere Zuschläge

- [Softwarepaket für den Entwurf von Höchstfrequenz- und Mikrowellenschaltungen](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/softwarepaket-fuer-den-entwurf-von-hoechstfrequenz-und-4194a2cc) · IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Zuschlag 09.09.2026 an Keysight Technologies Deutschland GmbH · 1 Angebot
- [300 mm Photonics Prober station and Optical test and measurement system](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/300-mm-photonics-prober-station-and-optical-test-and-measurement-8ed17781) · IHP GmbH - Lebniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Zuschlag 30.01.2026 an Cascade Microtech GmbH und Keysight Technologies Deutschland GmbH · 1–2 Angebote je Los
- [Broadband vector network analyzer (VNA) system](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/broadband-vector-network-analyzer-vna-system-5ef2a9d4) · IHP GmbH - Lebniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Zuschlag 20.01.2026 an Keysight Technologies Deutschland GmbH · 1 Angebot
- [IRMS](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/irms-16bb9f43) · Brandenburgische Technische Universität Cottbus - Senftenberg · Zuschlag 08.12.2025 an Elementar Analysensysteme GmbH · 2 Angebote
- [Beschaffung von Controllereinheiten](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/beschaffung-von-controllereinheiten-1c4fd2ec) · Stadtwerke Cottbus GmbH · Zuschlag 27.11.2025 an ABB AG · 1 Angebot
- [Isotopenmassenspektrometer](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/isotopenmassenspektrometer-1666284d) · Leibniz-Zentrum für Agrarlandschaftsforschung (ZALF) e.V. · Zuschlag 06.10.2025 an Thermo Fisher Scientific GmbH · 2 Angebote

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Frankfurt (Oder)](https://vergabeweiser.de/region/brandenburg/frankfurt-oder): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ihp-gmbh-leibniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 11.11.2020, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 04.11.2026.

Fehler melden: https://vergabeweiser.de/fehler-melden?seite=https%3A%2F%2Fvergabeweiser.de%2Fausschreibung%2Ftiefe-oxidaetzkammer-synapse-1859792020

---
Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/539904-2020. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/tiefe-oxidaetzkammer-synapse-1859792020