# Thermische und Plasma-unterstützte Atomlagenabscheideanlage.

Zuschlag erteilt

Technische Universität Chemnitz hat den Auftrag für Maschinen und Geräte am 16.05.2017 vergeben. Wer den Zuschlag bekommen hat, steht nicht in der Bekanntmachung.

- Auftraggeber: [Technische Universität Chemnitz](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/technische-universitaet-chemnitz)
- Was: Maschinen und Geräte: Thermische und Plasma-unterstützte Atomlagenabscheideanlage.
- Wo: Sachsen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 01.10.2017 bis 01.12.2017
- Zuschlag an: Gewinner nicht veröffentlicht
- Zuschlag am: 16.05.2017
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: nicht veröffentlicht

## Leistungsumfang

Lieferung und Installation einer thermischen und Plasma-unterstützten Atomlagenabscheideanlage (PE-ALD) für das Beschichten von Proben mit diversen Materialien, hauptsächlich Metalloxiden. Die Beschichtungsanlage muss als eine Ein–Kammer–Loadlock-Anlage zur Beschichtung von Substraten mittels PE-ALD aufgebaut sein.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Öffentliche Ausschreibung (national)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Landesdirektion Sachsen
- CPV-Code: 31000000-6
- CPV-Bezeichnung: [Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung](https://vergabeweiser.de/cpv/31000000-elektrische-maschinen-geraete-ausstattung)
- Bekanntmachungs-ID: 109469-2017

## Verlauf

- 24.03.2017: Ausschreibung veröffentlicht
- 02.06.2017: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Der Auftraggeber hat den Gewinner nicht veröffentlicht.

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## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Sachsen](https://vergabeweiser.de/region/sachsen): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Technische Universität Chemnitz](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/technische-universitaet-chemnitz): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Ausschreibungen von Universitäten und Hochschulen](https://vergabeweiser.de/thema/hochschulen): Ausschreibungen und Zahlen
- [Öffentliche Ausschreibung](https://vergabeweiser.de/wissen/oeffentliche-ausschreibung): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 02.06.2017, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 01.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/209583-2017. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/thermische-und-plasma-unterstuetzte-atomlagenabscheideanlage-1094692017