# teil-automatisches Reinigungssystems für fotolithografische Masken

Abgelaufen

Fraunhofer ENAS hat einen Auftrag für „teil-automatisches Reinigungssystems für fotolithografische Masken“ in Chemnitz ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 16.09.2026. Ergebnis noch nicht veröffentlicht.

- Auftraggeber: [Fraunhofer ENAS](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/fraunhofer-enas)
- Was: teil-automatisches Reinigungssystems für fotolithografische Masken
- Wo: Chemnitz, Sachsen
- Bis wann: Angebotsfrist 16.09.2026, 12:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Vergabeunterlagen: https://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/97130fda-9a5b-4795-8b90-ee4c7eb27244
- Vergabeplattform: [deutsche-evergabe.de](https://vergabeweiser.de/plattform/deutsche-evergabe)

## Leistungsumfang

Beschaffung eines teil-automatischen Reinigungssystems für fotolithografische Masken in der Halbleiterindustrie zur Installation in einem Reinraum. Es müssen 6", 7" und 9" Masken durch ein mögliches Austauschen des Chucks gereinigt werden können. teil-automatisches Reinigungssystems für fotolithografische Masken

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Öffentliche Ausschreibung (national)
- Art des Auftrags: nicht angegeben
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Bekanntmachungs-ID: 25766252

## Verlauf

- 29.08.2026: Ausschreibung veröffentlicht

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Chemnitz](https://vergabeweiser.de/region/sachsen/chemnitz): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Fraunhofer ENAS](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/fraunhofer-enas): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Ausschreibungen der Fraunhofer-Gesellschaft](https://vergabeweiser.de/thema/fraunhofer): Ausschreibungen und Zahlen
- [Öffentliche Ausschreibung](https://vergabeweiser.de/wissen/oeffentliche-ausschreibung): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 29.08.2026, ohne KI. Stand: 04.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=25766252. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/teil-automatisches-reinigungssystems-fuer-fotolithografische-masken-25766252