# System zur Elektronenstrahllithografie (EBL-System)

Zuschlag erteilt

RWTH Aachen University hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Aachen am 18.11.2025 vergeben, Zuschlag an SEMTech Solutions, Inc. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 1.680.672 €. Eingegangen: 3 Angebote.

- Auftraggeber: [RWTH Aachen University](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/rwth-aachen-university)
- Was: Labor- und Messtechnik: System zur Elektronenstrahllithografie (EBL-System)
- Wo: Aachen, Städteregion Aachen, Nordrhein-Westfalen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt. Für KMU geeignet laut Bekanntmachung.
- Laufzeit: 14 Monate
- Zuschlag an: SEMTech Solutions, Inc.
- Zuschlag am: 18.11.2025
- Summe: 1.680.672 €
- Angebote: 3
- Originaltitel: 164 - System zur Elektronenstrahllithografie (EBL-System)

## Gewinner

- [SEMTech Solutions, Inc.](https://vergabeweiser.de/unternehmen/semtech-solutions-inc), North Billerica

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: 1.680.672,27 €
- Bindefrist: 84 Tage nach Angebotsfrist
- Nachprüfung: Vergabekammer Rheinland
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: eed932c8-579c-42cc-a9af-c59967050e1b

## Verlauf

- 27.07.2025: Ausschreibung veröffentlicht
- 26.08.2025: Ausschreibung veröffentlicht · Verlängerung aller Fristen aufgrund Urlaubszeit. Neue Angebotsfrist 26.09.2025
- 19.09.2025: Ausschreibung veröffentlicht · Es wurde in der Berichtigung versehentlich der 26.09 als neue Angebotsfrist genannt. Korrekt ist aber der 24.09 so wie es in den Vergabeunterlagen auch festgelegt wurde. Wir bitten den Fehler zu entschuldigen.
- 19.11.2025: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat SEMTech Solutions, Inc. erhalten, Summe 1.680.672 €.

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- [Ausschreibungen von Universitäten und Hochschulen](https://vergabeweiser.de/thema/hochschulen): Ausschreibungen und Zahlen
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 19.11.2025, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=614a1e88-ee92-4d0c-a392-7c7dc08a355c. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/system-zur-elektronenstrahllithografie-ebl-system-eed932c8