# System für reaktives Ionenätzen

Zuschlag erteilt

Helmholtz-Zentrum Geesthacht hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik im Kreis Herzogtum Lauenburg am 06.08.2019 vergeben, Zuschlag an Oxford Instruments GmbH. Zuschlagssumme nach den Angaben der Bekanntmachung: 373.050 €. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: Helmholtz-Zentrum Geesthacht
- Was: Labor- und Messtechnik: System für reaktives Ionenätzen
- Wo: Kreis Herzogtum Lauenburg, Schleswig-Holstein
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Zuschlag an: Oxford Instruments GmbH
- Zuschlag am: 06.08.2019
- Summe: 373.050 €
- Angebote: 2

## Gewinner

- [Oxford Instruments GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/oxford-instruments-gmbh), Wiesbaden

## Leistungsumfang

System zum Ionenätzen (RIE) mit Plasmaquelle Bei dem zu beschaffenden System muss es sich um ein erprobtes System handeln, da die Ätzprozesse für Forschungszwecke benötigt werden. Im Preis soll der Besuch eines Prozeßspezialisten (mind 3 Tage vor Ort) zum Prozessnachweis und zum Training enthalten sein. Darüber hinaus wird die kostenlose Prozessunterstützung für mind. 20 Jahre gefordert. Das HZG behält sich das Recht vor, im Rahmen der Angebotsauswertung sich das Gerät bzw. ein vergleichbares Gerät vorführen zu lassen (z.B. als Demo Gerät oder bei einem andren Kunden) um die geforderten mindest Anforderungen zu überprüfen. Der Platzbedarf des Systems soll kleiner als 80 cm x 95 cm sein (ohne Vorpumpen, PC, etc).

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Die Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 267776-2019

## Verlauf

- 10.06.2019: Ausschreibung veröffentlicht
- 16.08.2019: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Oxford Instruments GmbH erhalten, Summe 373.050 €.

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## Von hier aus weiter

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- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 16.08.2019, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/387433-2019. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/system-fuer-reaktives-ionenaetzen-2677762019