# System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1) - PR1153448-2480-P

Abgelaufen · Teilnahmewettbewerb

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 hat einen Auftrag für Maschinen und Geräte in Dresden ausgeschrieben. Teilnahmeanträge waren bis 15.07.2026 möglich. Ergebnis noch nicht veröffentlicht.

- Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Was: Maschinen und Geräte: System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1) - PR1153448-2480-P
- Wo: Dresden, Sachsen
- Bis wann: Teilnahmeantrag bis 15.07.2026, 11:30 Uhr
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 23 Monate
- Vergabeunterlagen: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-19dd324472b-6ce21f095f09894c
- Vergabeplattform: [vergabe.fraunhofer.de](https://vergabeweiser.de/plattform/vergabe-fraunhofer)

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammern des Bundes
- CPV-Code: 42990000-2
- CPV-Bezeichnung: [Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42990000-diverse-maschinen-und-geraete-fuer-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: e136cb0f-1988-4bde-aada-4ab40d6d273b

## Verlauf

- 11.06.2026: Ausschreibung veröffentlicht
- 18.07.2026: Ausschreibung veröffentlicht · Ergänzung bzgl. Link auf Eignungsunterlagen

## Zuschläge dieses Auftraggebers

- [Die-to-Wafer Bonder (IPMS-MRS14.1) - PR922727-2480-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/die-to-wafer-bonder-ipms-mrs141-pr922727-2480-p-a2a4e209) · Zuschlag 08.10.2026 an ASMPT Amicra GmbH · 3 Angebote
- [Advanced cleaning tool (IPMS-MRS09.2) - PR1119624-2480-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/advanced-cleaning-tool-ipms-mrs092-pr1119624-2480-p-1af0b83e) · Zuschlag 01.09.2026 an AP und S International GmbH · 1 Angebot
- [Closed-cycle Kryostat - PR1174656-2050-W](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/closed-cycle-kryostat-pr1174656-2050-w-5d4972a9) · Zuschlag 21.08.2026 an attocube system AG · 1 Angebot
- [15 kW HT-PEMFC-System - PR1138513-2070-W](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/15-kw-ht-pemfc-system-pr1138513-2070-w-5fc2bb55) · Zuschlag 15.06.2026 an Einzelunternehmen aus Aalborg East · 1 Angebot
- [Bi-Spectral T2SL Epitaxy Evaluation - PR1119280-2050-W](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/bi-spectral-t2sl-epitaxy-evaluation-pr1119280-2050-w-d17bf259) · Zuschlag 08.06.2026 an IQE KC LLC · 1 Angebot
- [Upgrade BEOL etching system (IPMS-CNT05.2) - PR874835-2480-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/upgrade-beol-etching-system-ipms-cnt052-pr874835-2480-p-c786f764) · Zuschlag 29.05.2026 an Tokyo Electron Europe Limited · 2 Angebote

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Dresden](https://vergabeweiser.de/region/sachsen/dresden): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Ausschreibungen der Fraunhofer-Gesellschaft](https://vergabeweiser.de/thema/fraunhofer): Ausschreibungen und Zahlen
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 18.07.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 30.10.2026.

Fehler melden: https://vergabeweiser.de/fehler-melden?seite=https%3A%2F%2Fvergabeweiser.de%2Fausschreibung%2Fsystem-for-high-apect-ratio-etch-consisting-of-mainframe-and-process-e136cb0f

---
Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=8a49c91c-d59f-43b4-a51b-e980aba81b16. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/system-for-high-apect-ratio-etch-consisting-of-mainframe-and-process-e136cb0f