# Strukturierungs- und Beobachtungssystem auf Basis einer Plasma-Ionensäule und einer Elektronensäule zur Beobachtung, sowie kontaminationsarmen Präparation großer Probenbereiche mit hohen Abtragsraten

Zuschlag erteilt

Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, Zentrale… hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik im Ilm-Kreis am 17.10.2025 vergeben, Zuschlag an FEI Deutschland GmbH. Zuschlagssumme nach den Angaben der Bekanntmachung: 1.155.000 €. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, Zentrale Vergabestelle
- Was: Labor- und Messtechnik: Strukturierungs- und Beobachtungssystem auf Basis einer Plasma-Ionensäule und einer Elektronensäule zur Beobachtung, sowie kontaminationsarmen Präparation großer Probenbereiche mit hohen Abtragsraten
- Wo: Ilm-Kreis, Thüringen
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag. Es werden 3 bis 6 Bewerber zur Angebotsabgabe aufgefordert.
- Zuschlag an: FEI Deutschland GmbH
- Zuschlag am: 17.10.2025
- Summe: 1.155.000 €
- Angebote: 2

## Gewinner

- [FEI Deutschland GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/fei-deutschland-gmbh), Dreieich

## Leistungsumfang

Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme einer flexibel einsetzbaren modernen Plasma-FIB (PFIB), wel-che die Möglichkeit der kontaminationsarmen Präparation von Strukturen über größere Probenbe-reiche mit hoher Abtragsrate besitzt. Diese hohen Abtragsraten sind für die effiziente Herstellung und Charakterisierung von verschiedenen z.T. integrierten Strukturen in unterschiedlichen Größens-kalen von Bedeutung. Mit der geplanten Anlage sollen großflächige Strukturen durch gezielte Feinstrukturierung in Mikro- und Nanometerdimension (sowohl lateral als auch in die Tiefe) hergestellt werden. Unter anderem werden damit sowohl die grundlagenbasierte Forschung im Bereich der quanten-photonisch inte-grierten Systeme (Q-PICs) vorangetrieben als auch durch die Kombination der verschiedenen tech-nologischen Konzepte mikroelektronische Systeme direkt mit Q-PICs verknüpft. Gleichzeitig soll das Gerät die Möglichkeit der Lamellenpräparation für die Transmissionselektronen-mikroskopie (TEM) unterstützen und dabei die dafür nötige Präzision auch für die Oberflächenstruk-turierung größerer Dimensionen an den Grenzen der physikalisch-technischen Realisierbarkeit be-reitstellen. Zusätzlich kann die Anlage zur Charakterisierung von Proben mit Hilfe der elektronenstrahlbasierten Abbildung verwendet werden, welche sowohl in situ (während der Strukturierung) als auch vor/nach der Strukturierung möglich ist. Dies erfolgt in der gesamten Technologiekette.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Thüringer Landesverwaltungsamt / Geschäftsstelle der Vergabekammer
- CPV-Code: 38511100-1
- CPV-Bezeichnung: Rasterelektronenmikroskope
- Bekanntmachungs-ID: 639ce605-c75a-4006-946d-d0200ff3844e

## Verlauf

- 10.05.2025: Ausschreibung veröffentlicht
- 21.10.2025: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat FEI Deutschland GmbH erhalten, Summe 1.155.000 €.

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- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 21.10.2025, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 01.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=df793964-8cfb-46a9-8eb5-842208bcfba7. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/strukturierungs-und-beobachtungssystem-auf-basis-einer-plasma-639ce605