# Sputtercluster

Abgelaufen

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) hat einen Auftrag für Maschinen und Geräte in Ulm ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 12.05.2025. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr)
- Was: Maschinen und Geräte: Sputtercluster
- Wo: Ulm, Baden-Württemberg
- Bis wann: Angebotsfrist 12.05.2025, 10:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Vergabeunterlagen: https://www.subreport.de/E57787747
- Vergabeplattform: [subreport.de](https://vergabeweiser.de/plattform/subreport)

## Leistungsumfang

Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung beinhaltet eine Kombi-Gerät mit Magnetron-Sputterquellen und Ionenstrahlätzanlage (ion beam etching IBE). Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Die Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
- CPV-Code: 31000000-6
- CPV-Bezeichnung: [Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung](https://vergabeweiser.de/cpv/31000000-elektrische-maschinen-geraete-ausstattung)
- Bekanntmachungs-ID: aa5324ba-bb7e-4564-b0e6-7809ab970cc8

## Verlauf

- 12.04.2025: Ausschreibung veröffentlicht

## Zuschläge dieses Auftraggebers

- [Lieferung von Bunkeranlage für flüssigen Wasserstoff (LH2)](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lieferung-von-bunkeranlage-fuer-fluessigen-wasserstoff-lh2-ce109db8) · Zuschlag 14.09.2026 an Marine Service GmbH · 1 Angebot
- [Zweiarmiger mobiler Roboter // Dual Arm mobile Robot](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/zweiarmiger-mobiler-roboter-dual-arm-mobile-robot-4f08e6cd) · Zuschlag 14.07.2026 an Einzelunternehmen aus Paterna · 1 Angebot
- [Robotersystem für TRON Labor](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/robotersystem-fuer-tron-labor-6f8537ec) · Zuschlag 02.04.2026 an Henkel + Roth GmbH · 2 Angebote
- [Erweiterung bestehende Anlage um solaren Salztank (Projekt SPOT) // GlassPoint Demonstrator on the EMSP](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/erweiterung-bestehende-anlage-um-solaren-salztank-projekt-spot-53929435) · Zuschlag 02.02.2026 an Einzelunternehmen aus Badalona · 1 Angebot
- [Speicherbehälter (Projekt CHASE)](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/speicherbehaelter-projekt-chase-eb89756c) · Zuschlag 22.12.2025 an Halmosi GmbH · 1 Angebot
- [EIS-Messsystem mit elektronsicher Last (Projekt zero4Cruise)](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/eis-messsystem-mit-elektronsicher-last-projekt-zero4cruise-e331202d) · Zuschlag 15.12.2025 an EKTechnologies GmbH · 4 Angebote

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Ulm](https://vergabeweiser.de/region/baden-wuerttemberg/ulm): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 12.04.2025, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 04.11.2026.

Fehler melden: https://vergabeweiser.de/fehler-melden?seite=https%3A%2F%2Fvergabeweiser.de%2Fausschreibung%2Fsputtercluster-aa5324ba

---
Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=aa5324ba-bb7e-4564-b0e6-7809ab970cc8. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/sputtercluster-aa5324ba